本製品は、革命的な吸振プラットフォームで、独特の強減衰材料及び装置內部の構造配置によって、防振效果を発揮し、最適な微振動設備の制御環境を作り、半導体及び光エレクトロニクス産業に適用。
  1. 低伝送率 平均Z ≦ 2倍
  2. 吸振效果
  3. 軽量構造体に適当な高減衰の動特性
  4. フロアへの動的荷重を低減させ、本来構造の特性変化を減少させます
  5. オーダーメイド対応可能
  1. 半導体製造プロセス用設備:
    ステッパー 光学検査装置 オーバーレイ 研磨機 等
  2. 光エレクトロニクス産業設備:
    修理装置 塗布装置 PSハイゲージ 測長機 AOI装置 等

  台湾新型第M343036号
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