適用於半導體12”及光電產業精密設備,不放大環境及設備微振動,提高設備之稼動良率及檢測設備之鑑別率
  1. 低傳輸比( Z ≦ 4倍(1Hz~100Hz))
  2. 良好隔振效果
  3. 具備高剛性,動態特性優
  4. 較同質基座輕
  5. 可針對您的特定規格來訂做。
  1. 精密電子廠之製程設備:
    穿透式電子顯微鏡(TEM)、原子力顯微鏡(AFM) 、掃描探針顯微鏡(SPM)…等
  2. 半導體製程中所使用之設備:
    掃描機(SCANNER)、步進機(STEPPER)、光學檢查機(CD-SEM)…等
  3. 光電產業設備:
    曝光機(ALIGNER)、修補機(REPAIR)、塗佈機(COATER)、PS測高機…等

*適用奈米等級的精密設備

  中華民國新型第183864號
中華民國發明第I240783號
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