本產品為一革命性之吸振平台,利用特有之高阻尼材料及內部之結構配置以達到制振效果,可提高微振動設備環境升級,適合半導體及光電產業使用。
  1. 低傳輸比( 平均Z ≦ 2倍(4Hz~400Hz))
  2. 高吸振效果
  3. 具備高阻尼動態特性,並符合輕量結構
  4. 降低對樓板的動態負荷,減少原有結構特性變化
  5. 可針對您的特定規格來訂做
  1. 半導體製程中所使用之設備:
    步進機(STEPPER)、光學檢查機(CD-SEM)、Overlay、化學機械研磨機(CMP)…等
  2. 光電產業設備:
    修補機(REPAIR)、塗佈機(COATER)、 PS測高機、測長機、AOI設備…等

  中華民國新型第M343036號
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