24小時監測廠房設備環境微振動,能有效察覺振動來源,降低設備振動風險,穩定生產稼動環境,提升產能,並預防設備環境振動劣(異)化。
  1. 全程監錄微振動可對精密製程設備進行長時期環境振動監測,針對特定時段之環境振動的變化,來進行異常分析診斷,並可儲存長時間之環境振動紀錄。
  2. 掌握設備之運轉狀況並預知保養,以利工程師提前做好防範,進而改善設備嫁動,減少檢修時間。
  3. 操作簡單、可依設備製程做系統監測調整。
  4. 國內化產品,可提供即時性服務。
  1. 精密電子廠之製程設備,如:穿透式電子顯微鏡 (TEM)、掃描探針顯微鏡(SPM)、原子力顯微鏡 (AFM)…等
  2. 半導體製程中所使用之微影設備(Lithography)、掃描機(SCANNER)、步進機 (STEPPER)、電子束刻印設備…等
  3. 光電:檢查機(REPAIR)、曝光機(ALIGNER)、塗佈機(COATER)…
  4. 其他:核電廠、石化廠、高鐵… 等

*舊有廠房如有微振動問題的皆適用

專業分析系統

微振動分析軟體

訊號處理模組

具備16波道,每一波道放大倍率為1倍、10倍、30倍,通道濾波器分為100Hz、200Hz、400Hz、800Hz、1000Hz共五段。

相關配件

滑鼠、鍵盤、螢幕(皆為選購產品)

  中華民國新型第202489號
大陸發明第ZL03101986.2
 
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